3M™ Trizact™ Pad Conditioner
- 3M ID B5005049057
Details
Hoogtepunten
- Exact ontwikkelde 3D-microgerepliceerde keramische structuren gecoat met CVD-diamant
- Nauwkeurig gecontroleerde microgerepliceerde structuren
- Constante prestaties tussen schijven onderling en metaalvrij snijoppervlak
- Ideaal voor geavanceerde knooppuntprocessen die gevoelig zijn voor metaalgerelateerde verontreiniging
De 3M™ Trizact™ Padconditioner, die de kennis van 3M op het gebeid van schuurmaterialen, keramiek en microreplicatie in zich verenigt, is een innovatieve padconditioner voor chemisch-mechanisch polijsten (CMP) voor de fabricage van geavanceerde knooppunt-halfgeleiders.
Specificaties
